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產(chǎn)品中心

對(duì)位平臺(tái)
GAS02系列

GAS02系列

型號(hào)規(guī)格:GAS02系列
主體材料:
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產(chǎn)品描述
★ 超薄型、輕量化平臺(tái)-采用Mini stage Xyθ模塊化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)無中座的薄且輕的機(jī)構(gòu) 
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預(yù)壓,達(dá)高剛性、高精度表現(xiàn) 
★ 中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用 
★ 在各運(yùn)動(dòng)軌道加入潤滑系統(tǒng),提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度 
★ 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命,質(zhì)量及效能 
★ 實(shí)行三次元全檢,保證滑臺(tái)出廠精度與質(zhì)量

型號(hào)

工作臺(tái)面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

角度(θ)

水平負(fù)載能力 (kgf)

反復(fù)定位精度(um)

GAS02-400CC

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-400RS

400x400

500x500

±10x±10

±3.5°

130

UP:±1 
P:±5

GAS02-500CC

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-500RS

500x500

600x600

±10x±10

±2.5°

130

UP:±1 
P:±5

GAS02-750CC

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

105

UP:±1 
P:±5

GAS02-750RS

750x750

850x850

±10x±10

±1.5°

130

UP:±1 
P:±5

 

特性介紹
  

♦ 採用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái)

在基座、工作臺(tái)之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承的模組之獨(dú)特性,實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。

♦ 高剛性、高精度

對(duì)于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓,達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。

♦ 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)

採用XYθ模組化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了無中座、薄而輕的機(jī)構(gòu),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試時(shí)使用。

♦ 潤滑系統(tǒng)

在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤滑系統(tǒng),確保潤滑脂補(bǔ)充,提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。

♦ 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用

工作臺(tái)面尺寸口100mm~口1500mm,為了可以對(duì)應(yīng)更大的精度荷載,可藉由增加從動(dòng)模組之?dāng)?shù)量來達(dá)成。

 

 

 

產(chǎn)業(yè)應(yīng)用介紹

♦  面板貼合機(jī)

♦  面板貼膜機(jī)

♦  網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷

♦  玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備

♦  Wafe對(duì)位設(shè)備

♦  P.C.D曝光設(shè)備

♦  軟體裁切設(shè)備

♦  半導(dǎo)體設(shè)備

 

結(jié)構(gòu)說明

 

動(dòng)作原理

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