型號(hào) |
工作臺(tái)面尺寸 (mm) |
基座尺寸 (mm) |
行程 (mm) |
角度(θ) |
水平負(fù)載能力 (kgf) |
反復(fù)定位精度(um) |
GAS02-400CC |
400x400 |
500x500 |
±10x±10 |
±3.5° |
105 |
UP:±1 |
GAS02-400RS |
400x400 |
500x500 |
±10x±10 |
±3.5° |
130 |
UP:±1 |
GAS02-500CC |
500x500 |
600x600 |
±10x±10 |
±2.5° |
105 |
UP:±1 |
GAS02-500RS |
500x500 |
600x600 |
±10x±10 |
±2.5° |
130 |
UP:±1 |
GAS02-750CC |
750x750 |
850x850 |
±10x±10 |
±1.5° |
105 |
UP:±1 |
GAS02-750RS |
750x750 |
850x850 |
±10x±10 |
±1.5° |
130 |
UP:±1 |
特性介紹 |
♦ 採(cǎi)用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái) 在基座、工作臺(tái)之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承的模組之獨(dú)特性,實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。 ♦ 高剛性、高精度 對(duì)于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺(tái)組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓,達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。 ♦ 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu) 採(cǎi)用XYθ模組化結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了無中座、薄而輕的機(jī)構(gòu),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試時(shí)使用。 ♦ 潤(rùn)滑系統(tǒng) 在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng),確保潤(rùn)滑脂補(bǔ)充,提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。 ♦ 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用 工作臺(tái)面尺寸口100mm~口1500mm,為了可以對(duì)應(yīng)更大的精度荷載,可藉由增加從動(dòng)模組之?dāng)?shù)量來達(dá)成。
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產(chǎn)業(yè)應(yīng)用介紹 |
♦ 面板貼合機(jī) ♦ 面板貼膜機(jī) ♦ 網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷 ♦ 玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備 ♦ Wafe對(duì)位設(shè)備 ♦ P.C.D曝光設(shè)備 ♦ 軟體裁切設(shè)備 ♦ 半導(dǎo)體設(shè)備 |
結(jié)構(gòu)說明 |
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動(dòng)作原理 |
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